本實用新型涉及一種炭炭
復(fù)合材料氣相沉積爐用旋轉(zhuǎn)裝置,其特征在于,包括中心套管,中心套管的頂部通過固定軸承安裝被動大齒輪,中心套管底部插裝在爐底中心固定套內(nèi),爐底中心固定套的側(cè)壁上設(shè)置有側(cè)進氣管;進氣管插入中心套管并與爐底中心固定套連接;所述的被動大齒輪與安裝在驅(qū)動軸端部的主動小齒輪咬合,驅(qū)動軸與電機連接;所述的被動大齒輪的頂面安裝托板,托板的頂面安裝墊墩,墊墩頂面安裝隔熱墊。本申請具有結(jié)構(gòu)合理、簡單,操作使用簡便,沉積室內(nèi)溫度更加均勻,有利于沉積等優(yōu)點。
聲明:
“炭炭復(fù)合材料氣相沉積爐用旋轉(zhuǎn)裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)