微波探測(cè)用的毫米波段入射微波束調(diào)制方法，涉 及用光學(xué)方法實(shí)現(xiàn)入射微波束調(diào)制的工藝。首先，選一種微波 頻率為94GHz、載流子濃度為每平方厘米 1012、載流子壽命為 10－4秒，表面載流子復(fù)合速率 102～ 103厘米/秒的硅；然后采用1.06 微米的脈沖激光照射該硅表面，照射的激光能量達(dá) 10－5焦耳/平方厘米，使硅表面 形成常數(shù)為0.7～0.8厘米的光柵條紋；最后用微波頻率為94～ 100GHz的入射微波束，并與已形成光柵的硅表面的法線為30 °的入射角入射，使硅表面光柵的亮條紋與暗條紋位置隨時(shí)間 成30°～60°連續(xù)變化，完成入射微波束的成形和轉(zhuǎn)向。本發(fā) 明工藝簡(jiǎn)單、占地少、成本不到現(xiàn)有技術(shù)的1/10。能廣泛用于 惡劣天氣或靈活移動(dòng)的軍事目標(biāo)搜索及地理、地質(zhì)、國(guó)土資源 普查外還可用于其它如海關(guān)查毒品等。