一種大規(guī)模集成電路用高純鎢粉的制備方法，屬于鎢粉末冶金技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明以工業(yè)0級偏鎢酸銨為原料，在550-600℃煅燒后于濃氨水中進行溶解形成鎢酸銨溶液，鎢酸銨溶液通過10μm和1μm過濾器濾去除不溶物等雜質(zhì)后于90-120℃下進行重結(jié)晶得到濕偏鎢酸銨，而后經(jīng)過固液分離、去離子水洗滌和干燥得到純度為99.999%的高純偏鎢酸銨。高純偏鎢酸銨在氫氣氣氛中于800-900℃還原得到平均粒度為3-5μm的高純鎢粉。高純鎢粉經(jīng)過檢測后，雜質(zhì)元素總含量小于10ppm，純度大于99.999%，可以滿足大規(guī)模集成電路及半導(dǎo)體芯片封裝行業(yè)的使用要求。