本發(fā)明公開了一種鉬氣相沉積成型一體化裝置和方法,成型裝置包括鉬源氣化升華區(qū)、反應(yīng)還原區(qū)、強(qiáng)化沉積區(qū)和在線固結(jié)成型區(qū);以氣態(tài)三氧化鉬為原料,以均勻氣相還原為基礎(chǔ),以電場(chǎng)強(qiáng)化定向沉積為核心,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品定型和高效沉積和在線固結(jié)成型。本發(fā)明以物理升華法制備高純MoO3含鉬氣源,突破傳統(tǒng)鉬氣相沉積法以氟化鉬和羰基鉬在原料制備過程中的毒性與沉積過程的污染;以均勻氣相還原實(shí)現(xiàn)鉬粒子尺度的精確控制;提供電場(chǎng)的定向作用實(shí)現(xiàn)鉬粒子高效定向沉積,顯著提升沉積效率;本發(fā)明克服傳統(tǒng)鉬氣相沉積原料毒性、過程氣體污染、效率低、成本高的缺點(diǎn),實(shí)現(xiàn)鉬金屬材料短流程、高效、連續(xù)和綠色化制造,對(duì)鉬金屬材料成型技術(shù)的發(fā)展具有顛覆性影響。
聲明:
“鉬氣相沉積成型一體化裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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