1.本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備加熱盤技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，它涉及一種基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤。

背景技術(shù)：

2.半導(dǎo)體設(shè)備，即在芯片制造和封測(cè)流程中應(yīng)用到的設(shè)備，廣義上也包括生產(chǎn)半導(dǎo)體原材料所需的機(jī)器設(shè)備。在整個(gè)芯片制造和封測(cè)過(guò)程中，會(huì)經(jīng)過(guò)上千道加工工序，涉及到的設(shè)備種類大體有九大類，細(xì)分又可以劃出百種不同的機(jī)臺(tái)，占比較大市場(chǎng)份額的主要有：光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、離子注入機(jī)、測(cè)試機(jī)、分選機(jī)、探針臺(tái)等。

3.半導(dǎo)體設(shè)備在沉積反應(yīng)時(shí)往往需要使晶圓及腔室空間預(yù)熱或維持在沉積反應(yīng)所需要的溫度，大多數(shù)半導(dǎo)體沉積設(shè)備都會(huì)使用加熱盤或靜電卡盤來(lái)實(shí)現(xiàn)給晶圓預(yù)熱的目的，但是目前市場(chǎng)上的加熱盤的加熱模式較為單一，往往只能夠?qū)崿F(xiàn)分區(qū)式加熱，對(duì)于一些對(duì)加熱面積需求大的工況不能夠?qū)崿F(xiàn)靈活的調(diào)整，從而造成使用上的局限性，而且市場(chǎng)上加熱盤的加熱方式均為平面式加熱，不能夠?qū)訜峤M件的加熱位置以及加熱角度進(jìn)行調(diào)節(jié)，使得加熱效率低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

4.針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤。

5.為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了如下技術(shù)方案：一種基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤，包括：

6.底板，底板表面設(shè)置有控制裝置，底板表面開設(shè)有滑動(dòng)槽；

7.加熱機(jī)構(gòu)，加熱機(jī)構(gòu)設(shè)置于底板的表面，加熱機(jī)構(gòu)與控制裝置電連接；

8.動(dòng)力機(jī)構(gòu)，動(dòng)力機(jī)構(gòu)設(shè)置于加熱機(jī)構(gòu)的表面，動(dòng)力機(jī)構(gòu)與控制裝置電連接，動(dòng)力機(jī)構(gòu)與加熱機(jī)構(gòu)固定連接；

9.傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置于動(dòng)力機(jī)構(gòu)的表面，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與動(dòng)力機(jī)構(gòu)配合。

10.作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：加熱機(jī)構(gòu)包括加熱組件和驅(qū)動(dòng)組件，加熱組件設(shè)置于底板的表面，加熱組件與控制裝置電連接，加熱組件設(shè)置有兩組，且兩組加熱組件對(duì)稱設(shè)置，驅(qū)動(dòng)組件設(shè)置于底板的表面，驅(qū)動(dòng)組件與控制裝置電連接，驅(qū)動(dòng)組件與加熱組件配合。

11.作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：加熱組件包括滑動(dòng)塊、移動(dòng)塊、轉(zhuǎn)動(dòng)板、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、配合套、調(diào)節(jié)螺桿、限位桿、底盤、保溫板和加熱線圈，滑動(dòng)塊設(shè)置于滑動(dòng)槽內(nèi)，轉(zhuǎn)動(dòng)板設(shè)置于移動(dòng)塊靠近滑動(dòng)塊的表面，轉(zhuǎn)動(dòng)板與移動(dòng)塊固定連接，限位桿與移動(dòng)塊轉(zhuǎn)動(dòng)連接，轉(zhuǎn)動(dòng)板與限位桿固定連接；轉(zhuǎn)動(dòng)軸的兩端設(shè)置有配合套，調(diào)節(jié)螺桿通過(guò)配合套與轉(zhuǎn)動(dòng)軸可拆卸式固定連接，且兩側(cè)調(diào)節(jié)螺桿的螺紋旋向相反，調(diào)節(jié)螺桿與滑動(dòng)塊轉(zhuǎn)動(dòng)連接，底盤與限位桿滑動(dòng)連接，底盤設(shè)置有三個(gè)，中間的底盤與轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，兩側(cè)的底盤分別與轉(zhuǎn)動(dòng)軸兩側(cè)的調(diào)節(jié)螺桿螺紋連接，靠近動(dòng)力機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)螺桿的端部固定連接有連接套，底盤表面設(shè)置有保溫板，

保溫板與底盤固定連接，底盤設(shè)有保溫板的表面設(shè)置有加熱線圈，加熱線圈與控制裝置電連接。

12.作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：驅(qū)動(dòng)組件包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)和雙頭螺桿，驅(qū)動(dòng)電機(jī)設(shè)置于底板的表面，驅(qū)動(dòng)電機(jī)與底板固定連接，驅(qū)動(dòng)電機(jī)與控制裝置電連接，雙頭螺桿設(shè)置于滑動(dòng)槽內(nèi)，雙頭螺桿與驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出端固定連接，雙頭螺桿與底板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，雙頭螺桿與滑動(dòng)塊螺紋連接，且雙頭螺桿兩端的螺紋旋向相反。

13.作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括動(dòng)力組件和離合組件，動(dòng)力組件設(shè)置于移動(dòng)塊的表面，動(dòng)力組件于移動(dòng)塊固定連接，動(dòng)力組件于控制裝置電連接，離合組件設(shè)置于動(dòng)力組件的表面，離合組件與動(dòng)力組件配合，離合組件與控制裝置電連接。

14.作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：動(dòng)力組件包括固定板、電機(jī)支板、動(dòng)力電機(jī)和主齒輪，固定板設(shè)置于移動(dòng)塊的表面，固定板與移動(dòng)塊固定連接，電機(jī)支板設(shè)置于固定板靠近滑動(dòng)塊一側(cè)的表面，電機(jī)支板與固定板固定連接，動(dòng)力電機(jī)設(shè)置于電機(jī)支板的表面，動(dòng)力電機(jī)與控制裝置電連接，動(dòng)力電機(jī)的輸出端與主齒輪固定連接。

15.作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：離合組件包括離合軸、電動(dòng)推桿、副齒輪和連接軸，離合軸與電機(jī)支板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，副齒輪設(shè)置于離合軸的表面，副齒輪與離合軸固定連接，副齒輪與主齒輪嚙合，離合軸的端部設(shè)置有電動(dòng)推桿，電動(dòng)推桿與離合軸固定連接，電動(dòng)推桿與控制裝置電連接，電動(dòng)推桿與連接軸固定連接。

16.作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一傳動(dòng)組件和第二傳動(dòng)組件，第一傳動(dòng)組件設(shè)置于固定板的表面，第一傳動(dòng)組件與固定板固定連接，第一傳動(dòng)組件與離合組件配合，第二傳動(dòng)組件設(shè)置于限位桿靠近第一傳動(dòng)組件的端部，第二傳動(dòng)組件與限位桿可拆式固定連接，第二傳動(dòng)組件與第一傳動(dòng)組件帶輪傳動(dòng)連接。

17.作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：第一傳動(dòng)組件包括第一傳動(dòng)軸、輔助板和第一傳動(dòng)輪，輔助板設(shè)置于固定板表面，輔助板與固定板固定連接，第一傳動(dòng)軸與輔助板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第一傳動(dòng)軸靠近連接軸的一端也設(shè)有連接套，第一傳動(dòng)軸通過(guò)連接套與連接軸連接，第一傳動(dòng)軸的另一端與第一傳動(dòng)輪固定連接。

18.作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：第二傳動(dòng)組件包括第二傳動(dòng)軸、傳動(dòng)套和第二傳動(dòng)輪，第二傳動(dòng)軸靠近限位桿的一端與傳動(dòng)套固定連接，第二傳動(dòng)軸通過(guò)傳動(dòng)套與限位桿可拆卸式固定連接，第二傳動(dòng)軸的另一端與第二傳動(dòng)輪固定連接，第二傳動(dòng)輪與第一傳動(dòng)輪帶輪傳動(dòng)連接，且第二傳動(dòng)輪的直徑比第一傳動(dòng)輪的直徑大。

19.與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具備以下有益效果：

20.1、通過(guò)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)組件和動(dòng)力機(jī)構(gòu)，使得本裝置不僅可對(duì)各個(gè)加熱組件的間距進(jìn)行調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)分區(qū)式加熱，對(duì)于對(duì)加熱面積需求大的工況，本裝置也可將各個(gè)加熱組件連接在一起，實(shí)現(xiàn)整體式加熱，進(jìn)而提高了本裝置的加熱效率，相比于傳統(tǒng)的加熱盤本裝置可在分區(qū)式加熱和整體式加熱兩種模式間切換以適應(yīng)不同的加熱需求，進(jìn)而增大了本裝置的工作范圍；

21.2、通過(guò)動(dòng)力組件和離合組件的配合，進(jìn)而使得本裝置的加熱方式由平面式加熱調(diào)節(jié)為立體式加熱，調(diào)節(jié)后兩側(cè)加熱組件形成v形空間，便于兩側(cè)的加熱線圈實(shí)現(xiàn)熱對(duì)流，同時(shí)兩側(cè)加熱組件形成v形空間也極大的降低了熱量的流逝，提高了本裝置的加熱效率。

附圖說(shuō)明

22.為了更清楚的說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖。

23.圖1為基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

24.圖2為基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤的正視結(jié)構(gòu)示意圖；

25.圖3為基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

26.圖4為圖1中的部分結(jié)構(gòu)示意圖；

27.圖5為圖4中的部分結(jié)構(gòu)示意圖；

28.1、控制裝置；2、滑動(dòng)槽；3、加熱組件；301、滑動(dòng)塊；302、移動(dòng)塊；303、轉(zhuǎn)動(dòng)板；304、轉(zhuǎn)動(dòng)軸；305、配合套；306、調(diào)節(jié)螺桿；307、限位桿；308、底盤；309、保溫板；310、加熱線圈；311、連接套；4、驅(qū)動(dòng)組件；401、驅(qū)動(dòng)電機(jī)；402、雙頭螺桿；5、動(dòng)力組件；501、固定板；502、電機(jī)支板；503、動(dòng)力電機(jī)；504、主齒輪；6、離合組件；601、離合軸；602、電動(dòng)推桿；603、副齒輪；604、連接軸；7、第一傳動(dòng)組件；701、第一傳動(dòng)軸；702、輔助板；703、第一傳動(dòng)輪；8、第二傳動(dòng)組件；801、第二傳動(dòng)軸；802、傳動(dòng)套；803、第二傳動(dòng)輪。

具體實(shí)施方式

29.下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述，顯然所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

30.在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“長(zhǎng)度”、“寬度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。

31.此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本發(fā)明的描述中，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上，除非另有明確具體的限定。

32.參照?qǐng)D1至圖5對(duì)本發(fā)明一種基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤實(shí)施例做進(jìn)一步說(shuō)明。

33.一種基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤，包括：

34.底板，底板表面設(shè)置有控制裝置1，底板表面開設(shè)有滑動(dòng)槽2；

35.加熱機(jī)構(gòu)，加熱機(jī)構(gòu)設(shè)置于底板的表面，加熱機(jī)構(gòu)與控制裝置1電連接；

36.動(dòng)力機(jī)構(gòu)，動(dòng)力機(jī)構(gòu)設(shè)置于加熱機(jī)構(gòu)的表面，動(dòng)力機(jī)構(gòu)與控制裝置1電連接，動(dòng)力機(jī)構(gòu)與加熱機(jī)構(gòu)固定連接；

37.傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置于動(dòng)力機(jī)構(gòu)的表面，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與動(dòng)力機(jī)構(gòu)配合。

38.請(qǐng)參閱圖1、圖2和圖3，優(yōu)選的，加熱機(jī)構(gòu)包括加熱組件3和驅(qū)動(dòng)組件4，加熱組件3設(shè)置于底板的表面，加熱組件3與控制裝置1電連接，加熱組件3設(shè)置有兩組，且兩組加熱組件3對(duì)稱設(shè)置，驅(qū)動(dòng)組件4設(shè)置于底板的表面，驅(qū)動(dòng)組件4與控制裝置1電連接，驅(qū)動(dòng)組件4與加熱組件3配合。

39.請(qǐng)參閱圖1、圖2和圖3，優(yōu)選的，加熱組件3包括滑動(dòng)塊301、移動(dòng)塊302、轉(zhuǎn)動(dòng)板303、轉(zhuǎn)動(dòng)軸304、配合套305、調(diào)節(jié)螺桿306、限位桿307、底盤308、保溫板309和加熱線圈310，滑動(dòng)塊301設(shè)置于滑動(dòng)槽2內(nèi)，轉(zhuǎn)動(dòng)板303設(shè)置于移動(dòng)塊302靠近滑動(dòng)塊301的表面，轉(zhuǎn)動(dòng)板303與移動(dòng)塊302固定連接，限位桿307與移動(dòng)塊302轉(zhuǎn)動(dòng)連接，轉(zhuǎn)動(dòng)板303與限位桿307固定連接；轉(zhuǎn)動(dòng)軸304的兩端設(shè)置有配合套305，調(diào)節(jié)螺桿306通過(guò)配合套305與轉(zhuǎn)動(dòng)軸304可拆卸式固定連接，且兩側(cè)調(diào)節(jié)螺桿306的螺紋旋向相反，調(diào)節(jié)螺桿306與滑動(dòng)塊301轉(zhuǎn)動(dòng)連接，底盤308與限位桿307滑動(dòng)連接，底盤308設(shè)置有三個(gè)，中間的底盤308與轉(zhuǎn)動(dòng)軸304轉(zhuǎn)動(dòng)連接，兩側(cè)的底盤308分別與轉(zhuǎn)動(dòng)軸304兩側(cè)的調(diào)節(jié)螺桿306螺紋連接，靠近動(dòng)力機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)螺桿306的端部固定連接有連接套311，底盤308表面設(shè)置有保溫板309，保溫板309與底盤308固定連接，通過(guò)設(shè)置有保溫板309使得加熱線圈310在進(jìn)行加熱時(shí)一定程度上避免了熱量流失，底盤308設(shè)有保溫板309的表面設(shè)置有加熱線圈310，加熱線圈310與控制裝置1電連接。

40.請(qǐng)參閱圖1，優(yōu)選的，驅(qū)動(dòng)組件4包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)401和雙頭螺桿402，驅(qū)動(dòng)電機(jī)401設(shè)置于底板的表面，驅(qū)動(dòng)電機(jī)401與底板固定連接，驅(qū)動(dòng)電機(jī)401與控制裝置1電連接，雙頭螺桿402設(shè)置于滑動(dòng)槽2內(nèi)，雙頭螺桿402與驅(qū)動(dòng)電機(jī)401輸出端固定連接，雙頭螺桿402與底板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，雙頭螺桿402與滑動(dòng)塊301螺紋連接，且雙頭螺桿402兩端的螺紋旋向相反

41.請(qǐng)參閱圖1、圖2、圖4和圖5，優(yōu)選的，動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括動(dòng)力組件5和離合組件6，動(dòng)力組件5設(shè)置于移動(dòng)塊302的表面，動(dòng)力組件5于移動(dòng)塊302固定連接，動(dòng)力組件5于控制裝置1電連接，離合組件6設(shè)置于動(dòng)力組件5的表面，離合組件6與動(dòng)力組件5配合，離合組件6與控制裝置1電連接。

42.請(qǐng)參閱圖1、圖2和圖4，優(yōu)選的，動(dòng)力組件5包括固定板501、電機(jī)支板502、動(dòng)力電機(jī)503和主齒輪504，固定板501設(shè)置于移動(dòng)塊302的表面，固定板501與移動(dòng)塊302固定連接，電機(jī)支板502設(shè)置于固定板501靠近滑動(dòng)塊301一側(cè)的表面，電機(jī)支板502與固定板501固定連接，動(dòng)力電機(jī)503設(shè)置于電機(jī)支板502的表面，動(dòng)力電機(jī)503與控制裝置1電連接，動(dòng)力電機(jī)503的輸出端與主齒輪504固定連接。

43.請(qǐng)參閱圖1和圖5，優(yōu)選的，離合組件6包括離合軸601、電動(dòng)推桿602、副齒輪603和連接軸604，離合軸601與電機(jī)支板502轉(zhuǎn)動(dòng)連接，副齒輪603設(shè)置于離合軸601的表面，副齒輪603與離合軸601固定連接，副齒輪603與主齒輪504嚙合，離合軸601的端部設(shè)置有電動(dòng)推桿602，電動(dòng)推桿602與離合軸601固定連接，電動(dòng)推桿602與控制裝置1電連接，電動(dòng)推桿602與連接軸604固定連接。

44.工作時(shí)，控制裝置1控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)401啟動(dòng)，使得與驅(qū)動(dòng)電機(jī)401輸出端固定連接的雙頭螺桿402轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)雙頭螺桿402與兩側(cè)滑動(dòng)塊301的螺紋傳動(dòng)配合，進(jìn)而對(duì)兩側(cè)滑動(dòng)塊301的間距進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而可對(duì)各個(gè)加熱組件3的縱向間距進(jìn)行調(diào)節(jié)；控制裝置1控制靠近調(diào)節(jié)螺桿306側(cè)的電動(dòng)推桿602啟動(dòng)，使得與靠近調(diào)節(jié)螺桿306側(cè)的電動(dòng)推桿602固定連接的連接軸604插入連接套311內(nèi)，控制裝置1再控制動(dòng)力電機(jī)503啟動(dòng)，使得與動(dòng)力電機(jī)503輸出端固定連接的主齒輪504轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)主齒輪504與副齒輪603的嚙合，帶動(dòng)了與副齒輪603固定

連接的離合軸601轉(zhuǎn)動(dòng)，使得與電動(dòng)推桿602固定連接的連接軸604的轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)了與連接套311固定連接的調(diào)節(jié)螺桿306轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)調(diào)節(jié)螺桿306與底盤308的螺紋傳動(dòng)配合，進(jìn)而可對(duì)各個(gè)加熱組件3的橫向間距進(jìn)行調(diào)節(jié)；通過(guò)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)組件4和動(dòng)力機(jī)構(gòu)，使得本裝置不僅可對(duì)各個(gè)加熱組件3的間距進(jìn)行調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)分區(qū)式加熱，對(duì)于對(duì)加熱面積需求大的工況，本裝置也可將各個(gè)加熱組件3連接在一起，實(shí)現(xiàn)整體式加熱，進(jìn)而提高了本裝置的加熱效率，相比于傳統(tǒng)的加熱盤本裝置可在分區(qū)式加熱和整體式加熱兩種模式間切換以適應(yīng)不同的加熱需求，進(jìn)而增大了本裝置的工作范圍；

45.請(qǐng)參閱圖1、圖3和圖4，優(yōu)選的，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一傳動(dòng)組件7和第二傳動(dòng)組件8，第一傳動(dòng)組件7設(shè)置于固定板501的表面，第一傳動(dòng)組件7與固定板501固定連接，第一傳動(dòng)組件7與離合組件6配合，第二傳動(dòng)組件8設(shè)置于限位桿307靠近第一傳動(dòng)組件7的端部，第二傳動(dòng)組件8與限位桿307可拆式固定連接，第二傳動(dòng)組件8與第一傳動(dòng)組件7帶輪傳動(dòng)連接。

46.請(qǐng)參閱圖1和圖4，優(yōu)選的，第一傳動(dòng)組件7包括第一傳動(dòng)軸701、輔助板702和第一傳動(dòng)輪703，輔助板702設(shè)置于固定板501表面，輔助板702與固定板501固定連接，第一傳動(dòng)軸701與輔助板702轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第一傳動(dòng)軸701靠近連接軸604的一端也設(shè)有連接套311，第一傳動(dòng)軸701通過(guò)連接套311與連接軸604連接，第一傳動(dòng)軸701的另一端與第一傳動(dòng)輪703固定連接。

47.請(qǐng)參閱圖1和圖3，優(yōu)選的，第二傳動(dòng)組件8包括第二傳動(dòng)軸801、傳動(dòng)套802和第二傳動(dòng)輪803，第二傳動(dòng)軸801靠近限位桿307的一端與傳動(dòng)套802固定連接，第二傳動(dòng)軸801通過(guò)傳動(dòng)套802與限位桿307可拆卸式固定連接，第二傳動(dòng)軸801的另一端與第二傳動(dòng)輪803固定連接，第二傳動(dòng)輪803與第一傳動(dòng)輪703帶輪傳動(dòng)連接，且第二傳動(dòng)輪803的直徑比第一傳動(dòng)輪703的直徑大。

48.控制裝置1控制靠近第一傳動(dòng)軸701一端的電動(dòng)推桿602啟動(dòng)，使得與靠近第一傳動(dòng)軸701一端的電動(dòng)推桿602推動(dòng)連接軸604插入與第一傳動(dòng)軸701固定連接的連接套311內(nèi)，進(jìn)而帶動(dòng)了與第一傳動(dòng)軸701固定連接的第一傳動(dòng)輪703轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)第一傳動(dòng)輪703和第二傳動(dòng)輪803間的帶輪傳動(dòng)配合，使得與第二傳動(dòng)輪803固定連接的第二傳動(dòng)軸801轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)了與傳動(dòng)套802配合的限位桿307轉(zhuǎn)動(dòng)，使得與限位桿307固定連接的轉(zhuǎn)動(dòng)板303帶動(dòng)移動(dòng)塊302圍繞限位桿307轉(zhuǎn)動(dòng)至合適的角度，進(jìn)而帶動(dòng)了設(shè)置在限位桿307表面的加熱組件3轉(zhuǎn)動(dòng)至合適的角度，通過(guò)動(dòng)力組件5和離合組件6的配合，進(jìn)而使得本裝置的加熱方式由平面式加熱調(diào)節(jié)為立體式加熱，調(diào)節(jié)后兩側(cè)加熱組件3形成v形空間，便于兩側(cè)的加熱線圈310實(shí)現(xiàn)熱對(duì)流，同時(shí)兩側(cè)加熱組件3形成v形空間也極大的降低了熱量的流逝，提高了本裝置的加熱效率。

49.工作原理：工作時(shí)，控制裝置1控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)401啟動(dòng)，使得與驅(qū)動(dòng)電機(jī)401輸出端固定連接的雙頭螺桿402轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)雙頭螺桿402與兩側(cè)滑動(dòng)塊301的螺紋傳動(dòng)配合，進(jìn)而對(duì)兩側(cè)滑動(dòng)塊301的間距進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而可對(duì)各個(gè)加熱組件3的縱向間距進(jìn)行調(diào)節(jié)；控制裝置1控制靠近調(diào)節(jié)螺桿306側(cè)的電動(dòng)推桿602啟動(dòng)，使得與靠近調(diào)節(jié)螺桿306側(cè)的電動(dòng)推桿602固定連接的連接軸604插入連接套311內(nèi)，控制裝置1再控制動(dòng)力電機(jī)503啟動(dòng)，使得與動(dòng)力電機(jī)503輸出端固定連接的主齒輪504轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)主齒輪504與副齒輪603的嚙合，帶動(dòng)了與副齒輪603固定連接的離合軸601轉(zhuǎn)動(dòng)，使得與電動(dòng)推桿602固定連接的連接軸604的轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)了與連接套311固定連接的調(diào)節(jié)螺桿306轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)調(diào)節(jié)螺桿306與底盤308的螺紋傳動(dòng)配

合，進(jìn)而可對(duì)各個(gè)加熱組件3的橫向間距進(jìn)行調(diào)節(jié)；通過(guò)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)組件4和動(dòng)力機(jī)構(gòu)，使得本裝置不僅可對(duì)各個(gè)加熱組件3的間距進(jìn)行調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)分區(qū)式加熱，對(duì)于對(duì)加熱面積需求大的工況，本裝置也可將各個(gè)加熱組件3連接在一起，實(shí)現(xiàn)整體式加熱，進(jìn)而提高了本裝置的加熱效率，相比于傳統(tǒng)的加熱盤本裝置可在分區(qū)式加熱和整體式加熱兩種模式間切換以適應(yīng)不同的加熱需求，進(jìn)而增大了本裝置的工作范圍；控制裝置1控制靠近第一傳動(dòng)軸701一端的電動(dòng)推桿602啟動(dòng)，使得與靠近第一傳動(dòng)軸701一端的電動(dòng)推桿602推動(dòng)連接軸604插入與第一傳動(dòng)軸701固定連接的連接套311內(nèi)，進(jìn)而帶動(dòng)了與第一傳動(dòng)軸701固定連接的第一傳動(dòng)輪703轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)第一傳動(dòng)輪703和第二傳動(dòng)輪803間的帶輪傳動(dòng)配合，使得與第二傳動(dòng)輪803固定連接的第二傳動(dòng)軸801轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)了與傳動(dòng)套802配合的限位桿307轉(zhuǎn)動(dòng)，使得與限位桿307固定連接的轉(zhuǎn)動(dòng)板303帶動(dòng)移動(dòng)塊302圍繞限位桿307轉(zhuǎn)動(dòng)至合適的角度，進(jìn)而帶動(dòng)了設(shè)置在限位桿307表面的加熱組件3轉(zhuǎn)動(dòng)至合適的角度，通過(guò)動(dòng)力組件5和離合組件6的配合，進(jìn)而使得本裝置的加熱方式由平面式加熱調(diào)節(jié)為立體式加熱，調(diào)節(jié)后兩側(cè)加熱組件3形成v形空間，便于兩側(cè)的加熱線圈310實(shí)現(xiàn)熱對(duì)流，同時(shí)兩側(cè)加熱組件3形成v形空間也極大的降低了熱量的流逝，提高了本裝置的加熱效率。

50.以上僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，本發(fā)明的保護(hù)范圍并不僅局限于上述實(shí)施例，凡屬于本發(fā)明思路下的技術(shù)方案均屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理前提下的若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。技術(shù)特征：

1.一種基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤，其特征在于，包括：底板，底板表面設(shè)置有控制裝置(1)，底板表面開設(shè)有滑動(dòng)槽(2)；加熱機(jī)構(gòu)，加熱機(jī)構(gòu)設(shè)置于底板的表面，加熱機(jī)構(gòu)與控制裝置(1)電連接；動(dòng)力機(jī)構(gòu)，動(dòng)力機(jī)構(gòu)設(shè)置于加熱機(jī)構(gòu)的表面，動(dòng)力機(jī)構(gòu)與控制裝置(1)電連接，動(dòng)力機(jī)構(gòu)與加熱機(jī)構(gòu)固定連接；傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置于動(dòng)力機(jī)構(gòu)的表面，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與動(dòng)力機(jī)構(gòu)配合。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤，其特征在于，加熱機(jī)構(gòu)包括加熱組件(3)和驅(qū)動(dòng)組件(4)，加熱組件(3)設(shè)置于底板的表面，加熱組件(3)與控制裝置(1)電連接，加熱組件(3)設(shè)置有兩組，且兩組加熱組件(3)對(duì)稱設(shè)置，驅(qū)動(dòng)組件(4)設(shè)置于底板的表面，驅(qū)動(dòng)組件(4)與控制裝置(1)電連接，驅(qū)動(dòng)組件(4)與加熱組件(3)配合。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤，其特征在于，加熱組件(3)包括滑動(dòng)塊(301)、移動(dòng)塊(302)、轉(zhuǎn)動(dòng)板(303)、轉(zhuǎn)動(dòng)軸(304)、配合套(305)、調(diào)節(jié)螺桿(306)、限位桿(307)、底盤(308)、保溫板(309)和加熱線圈(310)，滑動(dòng)塊(301)設(shè)置于滑動(dòng)槽(2)內(nèi)，轉(zhuǎn)動(dòng)板(303)設(shè)置于移動(dòng)塊(302)靠近滑動(dòng)塊(301)的表面，轉(zhuǎn)動(dòng)板(303)與移動(dòng)塊(302)固定連接，限位桿(307)與移動(dòng)塊(302)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，轉(zhuǎn)動(dòng)板(303)與限位桿(307)固定連接；轉(zhuǎn)動(dòng)軸(304)的兩端設(shè)置有配合套(305)，調(diào)節(jié)螺桿(306)通過(guò)配合套(305)與轉(zhuǎn)動(dòng)軸(304)可拆卸式固定連接，且兩側(cè)調(diào)節(jié)螺桿(306)的螺紋旋向相反，調(diào)節(jié)螺桿(306)與滑動(dòng)塊(301)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，底盤(308)與限位桿(307)滑動(dòng)連接，底盤(308)設(shè)置有三個(gè)，中間的底盤(308)與轉(zhuǎn)動(dòng)軸(304)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，兩側(cè)的底盤(308)分別與轉(zhuǎn)動(dòng)軸(304)兩側(cè)的調(diào)節(jié)螺桿(306)螺紋連接，靠近動(dòng)力機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)螺桿(306)的端部固定連接有連接套(311)，底盤(308)表面設(shè)置有保溫板(309)，保溫板(309)與底盤(308)固定連接，底盤(308)設(shè)有保溫板(309)的表面設(shè)置有加熱線圈(310)，加熱線圈(310)與控制裝置(1)電連接。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤，其特征在于，驅(qū)動(dòng)組件(4)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)(401)和雙頭螺桿(402)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)(401)設(shè)置于底板的表面，驅(qū)動(dòng)電機(jī)(401)與底板固定連接，驅(qū)動(dòng)電機(jī)(401)與控制裝置(1)電連接，雙頭螺桿(402)設(shè)置于滑動(dòng)槽(2)內(nèi)，雙頭螺桿(402)與驅(qū)動(dòng)電機(jī)(401)輸出端固定連接，雙頭螺桿(402)與底板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，雙頭螺桿(402)與滑動(dòng)塊(301)螺紋連接，且雙頭螺桿(402)兩端的螺紋旋向相反。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤，其特征在于，動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括動(dòng)力組件(5)和離合組件(6)，動(dòng)力組件(5)設(shè)置于移動(dòng)塊(302)的表面，動(dòng)力組件(5)于移動(dòng)塊(302)固定連接，動(dòng)力組件(5)于控制裝置(1)電連接，離合組件(6)設(shè)置于動(dòng)力組件(5)的表面，離合組件(6)與動(dòng)力組件(5)配合，離合組件(6)與控制裝置(1)電連接。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤，其特征在于，動(dòng)力組件(5)包括固定板(501)、電機(jī)支板(502)、動(dòng)力電機(jī)(503)和主齒輪(504)，固定板(501)設(shè)置于移動(dòng)塊(302)的表面，固定板(501)與移動(dòng)塊(302)固定連接，電機(jī)支板(502)設(shè)置于固定板(501)靠近滑動(dòng)塊(301)一側(cè)的表面，電機(jī)支板(502)與固定板(501)固定連接，動(dòng)力電機(jī)(503)設(shè)置于電機(jī)支板(502)的表面，動(dòng)力電機(jī)(503)與控制裝置(1)電連接，動(dòng)力電機(jī)(503)的輸出端與主齒輪(504)固定連接。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤，其特征在于，離合組件(6)包括離合軸(601)、電動(dòng)推桿(602)、副齒輪(603)和連接軸(604)，離合軸(601)與

電機(jī)支板(502)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，副齒輪(603)設(shè)置于離合軸(601)的表面，副齒輪(603)與離合軸(601)固定連接，副齒輪(603)與主齒輪(504)嚙合，離合軸(601)的端部設(shè)置有電動(dòng)推桿(602)，電動(dòng)推桿(602)與離合軸(601)固定連接，電動(dòng)推桿(602)與控制裝置(1)電連接，電動(dòng)推桿(602)與連接軸(604)固定連接。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤，其特征在于，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第一傳動(dòng)組件(7)和第二傳動(dòng)組件(8)，第一傳動(dòng)組件(7)設(shè)置于固定板(501)的表面，第一傳動(dòng)組件(7)與固定板(501)固定連接，第一傳動(dòng)組件(7)與離合組件(6)配合，第二傳動(dòng)組件(8)設(shè)置于限位桿(307)靠近第一傳動(dòng)組件(7)的端部，第二傳動(dòng)組件(8)與限位桿(307)可拆式固定連接，第二傳動(dòng)組件(8)與第一傳動(dòng)組件(7)帶輪傳動(dòng)連接。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤，其特征在于，第一傳動(dòng)組件(7)包括第一傳動(dòng)軸(701)、輔助板(702)和第一傳動(dòng)輪(703)，輔助板(702)設(shè)置于固定板(501)表面，輔助板(702)與固定板(501)固定連接，第一傳動(dòng)軸(701)與輔助板(702)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第一傳動(dòng)軸(701)靠近連接軸(604)的一端也設(shè)有連接套(311)，第一傳動(dòng)軸(701)通過(guò)連接套(311)與連接軸(604)連接，第一傳動(dòng)軸(701)的另一端與第一傳動(dòng)輪(703)固定連接。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤，其特征在于，第二傳動(dòng)組件(8)包括第二傳動(dòng)軸(801)、傳動(dòng)套(802)和第二傳動(dòng)輪(803)，第二傳動(dòng)軸(801)靠近限位桿(307)的一端與傳動(dòng)套(802)固定連接，第二傳動(dòng)軸(801)通過(guò)傳動(dòng)套(802)與限位桿(307)可拆卸式固定連接，第二傳動(dòng)軸(801)的另一端與第二傳動(dòng)輪(803)固定連接，第二傳動(dòng)輪(803)與第一傳動(dòng)輪(703)帶輪傳動(dòng)連接，且第二傳動(dòng)輪(803)的直徑比第一傳動(dòng)輪(703)的直徑大。

技術(shù)總結(jié)

本發(fā)明公開了一種基于化合物半導(dǎo)體設(shè)備的分區(qū)式加熱盤，涉及半導(dǎo)體設(shè)備加熱盤技術(shù)領(lǐng)域，包括底板，底板表面設(shè)置有控制裝置，底板表面開設(shè)有滑動(dòng)槽；底板的表面設(shè)置有加熱機(jī)構(gòu)，加熱機(jī)構(gòu)的表面設(shè)有動(dòng)力機(jī)構(gòu)，動(dòng)力機(jī)構(gòu)的表面設(shè)有傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；通過(guò)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)組件和動(dòng)力機(jī)構(gòu)，使得本裝置不僅可對(duì)各個(gè)加熱組件的間距進(jìn)行調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)分區(qū)式加熱，對(duì)于對(duì)加熱面積需求大的工況，本裝置也可將各個(gè)加熱組件連接在一起，實(shí)現(xiàn)整體式加熱，進(jìn)而提高了本裝置的加熱效率，相比于傳統(tǒng)的加熱盤本裝置可在分區(qū)式加熱和整體式加熱兩種模式間切換以適應(yīng)不同的加熱需求，進(jìn)而增大了本裝置的工作范圍。進(jìn)而增大了本裝置的工作范圍。進(jìn)而增大了本裝置的工作范圍。

技術(shù)研發(fā)人員：黎靜 田青林

受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇實(shí)為半導(dǎo)體科技有限公司

技術(shù)研發(fā)日：2022.06.29

技術(shù)公布日：2022/9/6