本發(fā)明涉及材料的熱學(xué)性能測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種簡(jiǎn)易新穎的薄膜熱學(xué)性能測(cè)試結(jié)構(gòu),包括設(shè)置于襯底上的串聯(lián)多個(gè)相同懸臂梁,所述懸臂梁由平面圖形相同的待測(cè)薄膜和測(cè)溫加熱電阻薄膜由下至上完全重疊設(shè)置而成。本發(fā)明有用信號(hào)大從而獲得較理想的信噪比,可有效降低對(duì)后續(xù)信號(hào)處理電路的要求;結(jié)構(gòu)可靠,避免了由于懸臂梁過長(zhǎng)導(dǎo)致其與襯底接觸而失效的風(fēng)險(xiǎn),可以極大減小工藝難度、提高制作成功率;制備工藝簡(jiǎn)單,一次成型;結(jié)果精確,熱學(xué)參數(shù)表達(dá)式簡(jiǎn)單,測(cè)試手段相對(duì)簡(jiǎn)單。
聲明:
“簡(jiǎn)易新穎的薄膜熱學(xué)性能測(cè)試結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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