本發(fā)明設(shè)計(jì)半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種金屬電遷移測(cè)試結(jié)構(gòu)。測(cè)試結(jié)構(gòu)分為電遷移被測(cè)結(jié)構(gòu)、電遷移阻擋結(jié)構(gòu)、測(cè)試端口和探測(cè)端口。電遷移被測(cè)結(jié)構(gòu)與電遷移阻擋結(jié)構(gòu)相連，位于測(cè)試端口之間。測(cè)試結(jié)構(gòu)具有三個(gè)探測(cè)端口，其中兩個(gè)探測(cè)端口用來精確的確定電遷移被測(cè)結(jié)構(gòu)是否失效，另一個(gè)探測(cè)端口用來探測(cè)精確的電遷移被測(cè)結(jié)構(gòu)的溫度，從而提升測(cè)試的準(zhǔn)確度。