現(xiàn)有的半導(dǎo)體工藝中，由于馬達(dá)設(shè)置在密封腔內(nèi)，因而針對(duì)某些馬達(dá)被鎖定誤判為性能失效的情況，通常需打開密封腔以進(jìn)行檢測(cè)，上述打開密封腔需中斷制程，耗時(shí)且麻煩。針對(duì)上述問(wèn)題，本發(fā)明提出一種馬達(dá)的檢測(cè)裝置及檢測(cè)馬達(dá)性能的方法，在現(xiàn)有的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路基礎(chǔ)上，再設(shè)置一套與馬達(dá)相連的檢測(cè)電路，以備馬達(dá)在某一位置臨時(shí)被鎖定而非馬達(dá)自身性能失效后，不打開密封腔，采用額外設(shè)置的檢測(cè)電路對(duì)馬達(dá)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。