本發(fā)明公開了一種深溝槽產(chǎn)品的物理分析結(jié)構(gòu)，形成于劃片槽區(qū)，由一系列寬度依次減少、且平行放置的分析溝槽組成，用于為深溝槽在分析時提供深度標(biāo)記。本發(fā)明還公開了一種深溝槽產(chǎn)品的物理分析方法。本發(fā)明能在深溝槽產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)分析或失效分析時為深溝槽的不同深度位置實現(xiàn)準(zhǔn)確定位，能夠?qū)崿F(xiàn)對深溝槽產(chǎn)品的質(zhì)量進行準(zhǔn)確和快速的分析，能夠提高結(jié)構(gòu)分析或失效分析的質(zhì)量和效率，從而也能提高產(chǎn)品的生長質(zhì)量和效率。本發(fā)明的物理分析結(jié)構(gòu)并不需要占用芯片區(qū)的面積，且物理分析結(jié)構(gòu)的各分析溝槽采用和深溝槽的同一塊掩膜板制作，工藝成本低。