本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體器件失效檢測(cè)方法，用于對(duì)所述半導(dǎo)體器件的柵極與源極之間進(jìn)行短路檢測(cè)，所述半導(dǎo)體器件至少包括：襯底、在所述襯底上層疊排列的多層?xùn)艠O層、在所述襯底上表面分立分布的多個(gè)源極區(qū)、所述襯底的接觸栓塞和所述柵極層的接觸栓塞；其中，所述襯底與所述源極區(qū)之間形成PN結(jié)；所述方法包括以下步驟：在所述襯底的接觸栓塞與所述柵極層的接觸栓塞之間加電壓，測(cè)量流過所述襯底的接觸栓塞與所述柵極層的接觸栓塞的電流值；基于所述電流值的測(cè)量結(jié)果，判斷所述半導(dǎo)體器件的柵極與源極之間是否短路。