本實用新型公開了一種半導(dǎo)體失效分析探針臺用攝像頭安裝裝置，包括支架(1)和側(cè)邊攝像頭(3)，側(cè)邊攝像頭通過支架裝在探針臺機架(2)上，使側(cè)邊攝像頭傾斜位于垂直攝像頭(21)旁并面向探針；支架包括固定桿(11)、橫向調(diào)節(jié)座(12)、縱向調(diào)節(jié)座(13)和連接座(14)；固定桿一端與橫向調(diào)節(jié)座連接，另一端與探針臺機架連接；縱向調(diào)節(jié)座一端可移動式裝在橫向調(diào)節(jié)座上，連接座可移動式裝在縱向調(diào)節(jié)座上，縱向調(diào)節(jié)座與連接座的移動方向垂直；側(cè)邊攝像頭可轉(zhuǎn)動式裝在連接座上。本實用新型能擴大攝像頭對探針的觀察視角，確保探針的正常使用，既能提高半導(dǎo)體芯片失效分析的準(zhǔn)確性，又能防止探針扎傷半導(dǎo)體芯片。