本發(fā)明提供了一種芯片固定裝置及制備失效分析樣品的方法，通過將芯片樣品貼附于芯片固定裝置上，通過固定芯片樣品提供化學研磨過程中需要的反摩擦力和反離心力，實現(xiàn)自動化學研磨，從而實現(xiàn)批量自動制備失效分析樣品，提高了失效分析樣品預處理的效率，提高了失效分析樣品制備的成功率，同時節(jié)省了人力資源；同時，在壓力調(diào)節(jié)裝置中設置有彈簧，通過調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)彈簧的松緊，從而調(diào)節(jié)施加在化學研磨平臺上的壓力，實現(xiàn)化學研磨速度的調(diào)節(jié)，提高了化學研磨的效率。