本文描述了用于分析晶圓的失效指標的方法和設備以及計算機可讀介質(zhì)。在此描述的用于分析晶圓的失效指標的方法包括：針對多個批次的晶圓，分別確定制造工藝的多個工序的晶圓隨機化標識符與表示失效程度的失效指標之間的擬合關系；針對所述多個工序，分別基于與所述多個批次中的參考批次的晶圓相對應的擬合關系和與所述多個批次中的其余批次的晶圓相對應的擬合關系之間的比較，確定相應的相似度值；以及基于與所述多個工序分別相對應的所述相似度值，確定所述多個工序中的至少一個工序的所述晶圓隨機化標識符與對應于所述失效指標的失效問題之間的相關性。