本公開提供了一種可360度翻轉樣品的失效分析樣品臺及掃描電鏡。其中,一種可360度翻轉樣品的失效分析樣品臺,包括換向部,其包括第一錐形齒輪和第二錐形齒輪,所述第一錐形齒輪和第二錐形齒輪嚙合;第一錐形齒輪套設固定在第一齒輪軸上;第二錐形齒輪套設固定在第二齒輪軸上;夾持部,其安裝在第二齒輪軸端部,用于夾持樣品;驅動部,其與第一齒輪軸相連,用于驅動第一錐形齒輪轉動,帶動第二錐形齒輪原位轉動,進而帶動樣品繞第二齒輪軸360度轉動,以實現(xiàn)樣品的原位失效分析。
聲明:
“可360度翻轉樣品的失效分析樣品臺及掃描電鏡” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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