本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體失效分析樣品的制備方法，其包括如下步驟：沿預(yù)設(shè)方向，在待分析樣品的選定區(qū)域表面形成多個分裂點，所述分裂點呈一條直線排列；以所述分裂點所在直線為分裂線，分裂所述待分析樣品，暴露出所述待分析樣品的側(cè)面截面，形成所述半導(dǎo)體失效分析樣品。本發(fā)明在待分析樣品表面形成分裂點，以所述分裂點為分裂起始處，進(jìn)行分裂操作。采用本發(fā)明的制備方法能夠制備出結(jié)構(gòu)尺寸準(zhǔn)確的失效分析樣品，并且能夠在低成本的前提下，提高制樣成功率，且不會破壞樣品。