本實用新型提出一種用于制備可供掃描電容顯微鏡研究的芯片失效分析樣品的制樣裝置，包括聚焦離子束、金屬墊片、離子風扇、加熱臺和UV燈，待測試的芯片經(jīng)由所述聚焦離子束切割得到芯片樣品，將所述芯片樣品粘貼在所述金屬墊片上，所述離子風扇對所述金屬墊片上的芯片樣品進行吹拭以除去所述芯片樣品表面沉積的離子，隨后將所述金屬墊片移送至所述加熱臺，所述加熱臺對所述芯片樣品進行加熱，所述UV燈對所述芯片樣品進行照射，所述加熱臺與所述UV燈共同作用以在所述芯片樣品的表面形成致密的氧化層。本實用新型提供的制樣裝置操作簡單，制樣完整精確，能有效地保證芯片失效分析結(jié)果的準確性，提高測試分析結(jié)果的精確度。