本發(fā)明公開了一種連續(xù)太赫茲波多物面疊層相襯成像方法，該方法包括采集攜帶多層被測樣品信息的衍射圖案，利用多物面疊層重建算法重建照明光束的復(fù)振幅分布及被測多層樣品的復(fù)振幅透過率函數(shù)，從而得到多層樣品的幅值及相位分布，獲得樣品的吸收系數(shù)及折射率分布。同時(shí)，利用連續(xù)太赫茲波多物面疊層相襯成像對多層被測樣品進(jìn)行大視場、無損、快速成像；該方法無需成像透鏡，系統(tǒng)搭設(shè)簡單，數(shù)據(jù)采集操作方便，并且待測多層樣品尺寸不受照明光束尺寸及探測器靶面尺寸限制。