本發(fā)明提供一種離子照射裝置。其所具有的特征是離子束線具有始端和終端,并且在始端和終端之間至少配置1個離子束無損型束電流測定裝置,又,所具有的特征是始端是離子源,終端是設(shè)置了半導(dǎo)體晶圓的處理室,在半導(dǎo)體晶圓的前段上配置離子束無損型束電流測定裝置。
聲明:
“離子照射裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)