本發(fā)明公開了一種磁性薄膜特性指標(biāo)的磁巴克豪森噪聲檢測和反演方法，可以對磁性薄膜的殘余應(yīng)力、晶粒尺寸和厚度進(jìn)行無損定量評價。磁巴克豪森噪聲信號時域幅值、頻譜衰減特性分別由晶粒尺寸和薄膜厚度決定，且均受殘余應(yīng)力影響。首先建立了含殘余應(yīng)力、晶粒尺寸和厚度的磁巴克豪森噪聲頻譜理論模型；其次，利用磁巴克豪森噪聲信號時域積分所得曲線確定的矯頑力，作為模型參數(shù)反演結(jié)果的收斂性判定依據(jù)；最后，面向檢測到的磁巴克豪森噪聲信號頻譜，利用遺傳算法、粒子群算法等對理論模型參數(shù)進(jìn)行辨識，反演得到磁性薄膜的殘余應(yīng)力、晶粒尺寸和厚度等；本方法為磁性薄膜特性指標(biāo)的無損檢測提供了理論及實驗指導(dǎo)。