一種光子晶體表面周期性結(jié)構(gòu)的檢測方法,屬于平面結(jié)構(gòu)檢測、光測力學(xué)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明以激光掃描共聚焦顯微鏡的掃描線為參考柵,光子晶體表面周期性結(jié)構(gòu)為試件柵,通過使兩柵發(fā)生干涉形成清晰的LSCM云紋,再通過提取云紋條紋方程,將其代入推導(dǎo)的反演公式求解試件柵方程,進(jìn)而既可求出物體表面微納米尺度的周期性結(jié)構(gòu)尺寸、又可反映其在大范圍內(nèi)的整體結(jié)構(gòu)特征。此方法綜合了云紋法靈敏度高、測量視場大,及激光共聚焦顯微鏡分辮率高、無需真空環(huán)境、標(biāo)本制備簡單、對樣品無損傷、空間定位方便等優(yōu)點(diǎn),測量精度高,操作簡單,可進(jìn)行全場測試,檢測成本低,對表面存在多種取向周期性結(jié)構(gòu)的光子晶體試樣有獨(dú)特的測量優(yōu)勢。