本發(fā)明的部件物相成分深度分布無(wú)損測(cè)量方法，使用中子源和探測(cè)器在樣品同側(cè)布置形成的反射式衍射幾何布局，分別通過(guò)四維臺(tái)和探測(cè)器進(jìn)行測(cè)點(diǎn)位置選取和數(shù)據(jù)信號(hào)采集，從而實(shí)現(xiàn)部件內(nèi)部不同位置物相成分分布的無(wú)損測(cè)量。根據(jù)樣品規(guī)格和重量等實(shí)際情況選取適宜的四維臺(tái)及安裝方式進(jìn)行測(cè)點(diǎn)尺寸限定，通過(guò)探測(cè)器收集來(lái)樣品內(nèi)部不同測(cè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)信號(hào)并分析得到對(duì)應(yīng)的物相和成分信息。本發(fā)明的部件物相成分深度分布無(wú)損測(cè)量方法，適用于部件級(jí)樣品內(nèi)部不同位置物相成分分布的無(wú)損測(cè)量。