本發(fā)明公開一種適用于表面附著物為Ceramic部品的清洗方法，該方法包括下述步驟：S1、化學清洗：采用氨水雙氧水溶液對工件進行浸泡處理，采用的氨水雙氧水溶液為體積比為H2O2：H2O：NH4OH＝(2.5?3.5)：(3.5?4.5)：(0.5?1.5)配制而成；S2、純水漂洗；S3、采用硝氟酸進行中和反應，采用的硝氟酸采用硝酸和氫氟酸配比而成，配比時，各溶液的體積比為HNO3：HF：H2O＝(17～23)：(0.5～1.5)：(17～23)；S4、擦洗；S5、將工件在DI?Water中常溫浸泡10分鐘以上；S6、工件表面PH測試；S7、超聲波震蕩清洗；S8、工件表面PH測試；S9、CDA吹干；S10、超聲波震蕩清洗；S11、加熱干燥；S12、自然冷卻。