一種光波導(dǎo)雙通道干涉儀陣列,由平面玻璃基板上制作的一對或多對平行三維單模玻璃光波導(dǎo)及其上方的覆蓋層組成。為了使兩平行波導(dǎo)不對稱,覆蓋層可以覆蓋整個基板而使每對波導(dǎo)中的一條波導(dǎo)的局部區(qū)間暴露,也可以僅覆蓋每對波導(dǎo)中的一條波導(dǎo)的局部區(qū)間而使其余部分暴露。由光源發(fā)出的單色光經(jīng)端面耦合或棱鏡耦合被同時輸入任一對平行波導(dǎo)中,在兩波導(dǎo)內(nèi)激發(fā)橫電基模或橫磁基模。從兩平行波導(dǎo)輸出的光因發(fā)散而疊加,導(dǎo)致明暗條紋相間的干涉圖形。通過光電探測器監(jiān)測任一條紋的強(qiáng)度變化可以獲得在兩波導(dǎo)內(nèi)傳播的導(dǎo)模之間的位相差隨時間的變化,從而可以獲得在兩波導(dǎo)上方發(fā)生的各種物理、化學(xué)變化,可廣泛用于氣體、化學(xué)和生物物質(zhì)的實(shí)時探測。