微納結(jié)構(gòu)的ZnO晶體材料由于其獨特的結(jié)構(gòu)和性能,體現(xiàn)出了特殊的應(yīng)用潛力,近年在電子器件、光電子器件、化學(xué)傳感、生物發(fā)電以及紫外檢測等領(lǐng)域取得了重要應(yīng)用。本發(fā)明提供了一種在襯底上制備生長位置精確可控的ZnO納米/微米棒晶的方法。本發(fā)明首先在襯底上預(yù)修飾ZnO籽晶層,然后在襯底上制作圖形尺寸在2μm以下的光刻膠層做模板層,之后使用含有檸檬酸鈉和聚乙醇胺這兩種不同生長修飾劑的前軀體溶液合成ZnO微納棒晶,最終成功地在預(yù)修飾籽晶層的單晶、多晶或者無定形襯底上制備出了生長位置精確控制的ZnO納米/微米棒晶。本發(fā)明實現(xiàn)了ZnO微納晶體材料在襯底上的位置控制,是實現(xiàn)ZnO微納晶體材料的器件化產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的必要步驟。