本發(fā)明公開(kāi)一種高靈敏表面增強(qiáng)拉曼散射多孔硅光子晶體生物傳感器件的制備方法，該方法包括以下步驟：S1、采用電化學(xué)腐蝕法，將N型單晶硅的表面制做成大孔層?介孔層交替堆疊的多孔硅布拉格反射鏡；S2、將所述多孔硅布拉格反射鏡做為基底材料，制備附著在孔道中的銀納米顆粒，得到多孔硅光子晶體生物傳感器件。本發(fā)明利用光子晶體的特殊光子傳輸特性，以及光學(xué)長(zhǎng)程池效果，使得光與物質(zhì)作用長(zhǎng)度增加，有效提高器件檢測(cè)信號(hào)強(qiáng)度和靈敏度，拉曼信號(hào)強(qiáng)度約為單層多孔硅的5倍，檢測(cè)極限比單層多孔硅提高兩個(gè)數(shù)量級(jí)。