本發(fā)明涉及半導體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種新型前段開口片盒。本發(fā)明公開了一種新型前段開口片盒,通過采用全黑的不透光的開口片盒和設(shè)置壓力/紅外線傳感器及相對應(yīng)的指示燈,避免制程中銅的光致
電化學反應(yīng),方便工作人員進行檢查,并降低了投資成本,同時,在晶圓到達機臺端之后,相關(guān)信息直接傳送入相關(guān)機臺,可取代原有的晶圓位置的定位檢測系統(tǒng),并節(jié)約了相關(guān)定位檢測的時間,降低了設(shè)備成本并縮短了工藝時間。
聲明:
“新型前段開口片盒” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)