本發(fā)明屬于無機化學合成領域,同時涉及材料與儀器科學。本發(fā)明內(nèi)容如下:在催化劑或(和)其它催化方法的存在下,使溶液中的元素與具有還原性的氫反應生成高產(chǎn)率的元素揮發(fā)物(氫化物);然后,將反應后的溶液和生成的氫化物在一氣液分離器中分離,氫化物被載氣載出氣液分離器去應用。該發(fā)明不僅適用于正常情況下在溶液中易形成高百分率的氫化物的元素(As,Sb,Bi,Ge,Sn,Pb,Se,Te),更適用于正常情況下在溶液中能形成氫化物但形成氫化物的百分率很低的元素。該發(fā)明可應用于下列技術領域:(1)元素的化學氣相沉積(2)激光光助鍍膜(3)原子光譜分析儀器的樣品進入。