本發(fā)明一種微流量傳感器及其制作系統(tǒng)和方法；所述傳感器包括作為基底的壓電薄膜，設(shè)置在壓電薄膜正面或反面的微絨毛陣列，以及壓電薄膜的正反兩面分別設(shè)置的傳感器電極；微絨毛陣列能夠在氣體或者液體的沖擊下產(chǎn)生彎曲；壓電薄膜將微絨毛陣列中彎曲變形的絨毛所引起的基底形變轉(zhuǎn)換成電信號輸出；傳感器電極用于檢測壓電薄膜輸出的電信號。通過單管探針局部電化學(xué)沉積的方法，在控制主機的實時監(jiān)測和控制微位移執(zhí)行器運動下，在壓電薄膜上生長出絨毛陣列傳感器。當陣列受到微流體不同方向沖擊時，其微絨毛產(chǎn)生相應(yīng)的應(yīng)變，帶動絨毛根部的壓電薄膜產(chǎn)生微小形變，該形變在壓電薄膜兩極上產(chǎn)生微電壓，通過實時監(jiān)測微電壓信號幅值進行微流量檢測。