菱形金屬納米粒子陣列結(jié)構(gòu)制作法:(1)選取精拋光的硅酸鹽玻璃作為基板,在玻璃表面沉積一層幾納米厚的鉻;(2)將直徑比例為1∶2.5的兩種單分散聚苯乙烯納米球按比例混合;(3)用化學(xué)方法對鍍鉻玻璃板進(jìn)行親水化處理;(4)在經(jīng)過親水化處理后的鍍鉻玻璃板表面自組裝一層混合聚苯乙烯納米球;(5)采用反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(RIE)對制作的聚苯乙烯納米球自組裝層進(jìn)行刻蝕,把直徑小的聚苯乙烯納米球完全刻蝕掉;(6)用刻蝕后的聚苯乙烯納米球自組裝層做模具,在球與球的間隙處填充金屬;(7)去除聚苯乙烯納米球自組裝層,得到菱形金屬納米粒子列陣結(jié)構(gòu)。利用本發(fā)明制作的陣列化的金屬納米列陣結(jié)構(gòu)可應(yīng)用于生物傳感領(lǐng)域,實(shí)現(xiàn)多種生物分子的多通道快速檢測。
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