本發(fā)明涉及一種利用單根集成電阻同時(shí)實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)及自清洗的微機(jī)械懸臂梁的結(jié)構(gòu)、制作方法及應(yīng)用,屬于微機(jī)械傳感器領(lǐng)域。具體特征是在懸臂梁的固定端處表面制作集成驅(qū)動(dòng)電阻,在懸臂梁的自由端處表面淀積特異性識(shí)別的敏感膜。當(dāng)在驅(qū)動(dòng)電阻上施加一定的交流疊加直流的電流時(shí),可以驅(qū)動(dòng)起懸臂梁達(dá)到諧振狀態(tài),從而作為傳感器檢測(cè)特定化學(xué)物質(zhì)。當(dāng)檢測(cè)完成后,可以通過(guò)增大施加在驅(qū)動(dòng)電阻上的電流,將驅(qū)動(dòng)電阻作為加熱器提高懸臂梁的溫度,加速吸附化學(xué)物質(zhì)的解吸附,實(shí)現(xiàn)傳感器的自清洗,從而實(shí)現(xiàn)快速重復(fù)檢測(cè)。本發(fā)明的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制作方便、容易實(shí)現(xiàn)。