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鉬基濺射高壓極板及制備方法

1052   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:33:26
一種鉬基濺射高壓極板及制備方法,該高壓極板 以鉬板為基,在其兩面覆有濺射的鉭金屬層,在其一端焊有接 地極,其方法包括:對鉬片精軋,鉬基板采用模具沖壓成型, 用化學(xué)試劑對鉬基板表面進(jìn)行抗氧化處理,進(jìn)真空爐烘干,溫 度250℃,時(shí)間1小時(shí),采用物理氣相沉積方法,將鉭在真空狀態(tài)下,真空度為2×10-2Pa,多弧濺射在鉬基板兩表面上,導(dǎo)電層表面粗糙度達(dá)到,平面度達(dá)到±0.01,溫度為105±5℃、時(shí)間為20~40分鐘、鉭濺射厚度為:0.005-0.01mm,高壓極板厚度可以做到0.16~0.19mm,點(diǎn)焊接地極;本發(fā)明的極板薄,結(jié)構(gòu)合理,引出極簡化,可使檢測器電離室容積增大,提高了檢測器的轉(zhuǎn)化效率和分辨率,降低了成本。
聲明:
“鉬基濺射高壓極板及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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