本實(shí)用新型提出了一種自動(dòng)進(jìn)料的系統(tǒng)，用于制備含硅薄膜，包括：機(jī)械手、低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備腔、控制器、檢測(cè)設(shè)備、電機(jī)，所述的機(jī)械手用于抓取襯底投放于所述的低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備腔內(nèi)，所述的控制器能控制所述的電機(jī)帶動(dòng)所述的機(jī)械手運(yùn)轉(zhuǎn)或停止，所述的檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)傳送至所述的低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備腔中的襯底是否足量。實(shí)施本實(shí)用新型的技術(shù)方案中，通過(guò)自動(dòng)輸送生成含硅薄膜的襯底進(jìn)入低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備腔，以方便進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，解放了人力，實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)化生產(chǎn)。