本發(fā)明提供一種SF₆氣體絕緣開關(guān)設(shè)備內(nèi)部絕緣故障診斷裝置及方法。氣體檢測(cè)管對(duì)SF₆氣體絕緣開關(guān)設(shè)備運(yùn)行過程中分解產(chǎn)生的SO₂和HF進(jìn)行檢測(cè)并校正電化學(xué)傳感器中SO₂、HF氣體組分檢測(cè)結(jié)果；電化學(xué)傳感器檢測(cè)出SF₆氣體絕緣開關(guān)設(shè)備運(yùn)行過程中分解產(chǎn)生的SO₂、H₂S、CO和HF氣體組分含量；氣相色譜儀對(duì)SF₆氣體絕緣開關(guān)設(shè)備運(yùn)行過程中分解產(chǎn)生的CF₄、SF₆、SO₂F₂、SOF₂、H₂O、S₂F₁₀以及S₂OF₁₀的濃度進(jìn)行標(biāo)定；氣相質(zhì)譜儀修正氣相色譜儀標(biāo)定的濃度；計(jì)算機(jī)根據(jù)氣相質(zhì)譜儀修正的濃度進(jìn)行SF₆氣體絕緣開關(guān)設(shè)備內(nèi)部絕緣故障診斷；由于故障設(shè)備運(yùn)行中不同故障類型產(chǎn)生的SF₆分解產(chǎn)物不同，因此使用由氣體檢測(cè)管、電化學(xué)傳感器、氣相色譜儀和氣相質(zhì)譜儀組成的檢測(cè)裝置進(jìn)行定性及定量檢測(cè)。