一種用于監(jiān)控制造太陽能電池的工藝的方法通常包括：在用于太陽能電池子結(jié)構(gòu)的室中執(zhí)行反應(yīng)工藝，其中，該室包括反應(yīng)溶液，反應(yīng)溶液包括至少一種化學(xué)成分。在反應(yīng)工藝期間，經(jīng)由連接至室的檢測組件檢測化學(xué)成分的濃度值。該方法還包括：經(jīng)由連接至檢測組件的控制組件，確定所檢測的濃度值是否處于化學(xué)成分的預(yù)定閾值濃度水平或在預(yù)定濃度范圍內(nèi)。當(dāng)所檢測的濃度值不同于預(yù)定閾值濃度水平或者不同于預(yù)定濃度范圍時(shí)，在反應(yīng)工藝期間，改變反應(yīng)溶液內(nèi)的化學(xué)成分的濃度。本發(fā)明還提供了用于監(jiān)控制造太陽能電池的工藝的裝置。