本發(fā)明通過獲取與外延生長設(shè)備相關(guān)的一或多種硬件設(shè)計參數(shù)和外延工藝參數(shù)，將之構(gòu)成參數(shù)值集合，并基于物理和/或化學(xué)理論原理，對參數(shù)間數(shù)學(xué)關(guān)系進(jìn)行分析和判定提煉，輔以處理和存儲的系統(tǒng)，用圖譜的形式預(yù)測外延工藝的一種方法；其中，圖譜通過多個參數(shù)組合取值區(qū)域分別描述反應(yīng)腔的一或多個物理場、化學(xué)場、或者耦合場的多個變化形態(tài)。而且，圖譜中包含用于示出生長有利的合理參數(shù)組合取值區(qū)域的界線。通過多條件集合的“面”技術(shù)而非單個條件的“點”技術(shù)，定出合理參數(shù)組合的外延工藝窗口。指導(dǎo)研發(fā)或生產(chǎn)工藝運(yùn)行，避開不利于生長的區(qū)域，從而有效提高生長效率、降低有害沉積(保持腔體干凈、延長維護(hù)周期)，加快新型設(shè)備的成型和量產(chǎn)。