一種復(fù)合分析物傳感器，其包括基底；微機(jī)電或納機(jī)電(MEMS；NEMS)諧振器，所述諧振器在該諧振器的至少兩個(gè)邊緣位置處被耦連到所述基底(即它至少是兩端固支)，其中所述諧振器在該諧振器的屈曲轉(zhuǎn)變點(diǎn)附近處于靜態(tài)屈曲狀態(tài)；以及覆蓋在諧振器的至少一部分表面上的化學(xué)反應(yīng)物，該化學(xué)反應(yīng)物當(dāng)暴露于給定的分析物時(shí)發(fā)生會(huì)發(fā)生構(gòu)象變化。所述諧振器可以是兩端固支的靜態(tài)屈曲梁(或橋)、多端固支的靜態(tài)屈曲圓頂(或火山口形)或者其他諧振器幾何形狀。所述傳感器可包括兩個(gè)或更多個(gè)至少兩端固支、靜態(tài)屈曲的復(fù)合MEMS或NEMS諧振器，每個(gè)諧振器均在相應(yīng)諧振器的屈曲轉(zhuǎn)變點(diǎn)附近工作，并且每個(gè)傳感器的特征通過(guò)不同的諧振頻率來(lái)表征。一種感測(cè)周圍空氣中的分析物的方法。