本發(fā)明提供了一種用于免疫電子顯微鏡?X射線顯微成像?納米離子探針技術(shù)的復(fù)合載網(wǎng)及其制備方法。該復(fù)合載網(wǎng)包括一鉬環(huán)作為支持基底，基底之上依次為導(dǎo)電膠、坐標銅網(wǎng)、芳華膜、導(dǎo)電碳膜、氮化硅膜、導(dǎo)電碳膜。本發(fā)明所述復(fù)合載網(wǎng)具有良好的支持強度及導(dǎo)電性能，并可以提供樣品中感興趣區(qū)域的定位信息，因此可以成功實現(xiàn)IEM、STXM?XANES以及Nano?SIMS三種技術(shù)聯(lián)用，對70?100nm厚度電鏡切片樣品中的感興趣區(qū)域進行蛋白信息、元素化學(xué)形態(tài)信息以及同位素信息的原位分析；同時可以降低IEM制樣標記操作過程中破損的概率及程度，有效提高觀察范圍，實現(xiàn)STXM和Nano?SIMS分析的準確定位，并大幅度提高Nano?SIMS的檢測效率。