一種基于二維納米材料的生物傳感器及其制作與集成方法。本發(fā)明涉及一種高靈敏度生物傳感器及其制作與集成方法，具體涉及基于二維納米材料的生物傳感器及其制作與集成方法。本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有生物傳感器分析速度慢，操作復雜，設(shè)備昂貴以及采用電化學法制作的電極其電化學響應易受到非導電性材料使用的影響的問題。本發(fā)明的生物傳感器的制作集成方法，首先基于黑磷、二硫化鉬等二維納米材料采用自下而上加工方法制作FET場效應管；繼而利用聚二甲基硅氧烷在晶片上制作出微流體通道，并與經(jīng)過表面改性的晶片鍵合；最后對微流體通道中的二維納米材料進行化學修飾，并結(jié)合待檢測物質(zhì)的相應抗體。