本發(fā)明提供即使是試樣氣體中的共存物質(zhì)的濃度發(fā)生變化,也能夠準(zhǔn)確地定量化學(xué)試劑的濃度的氣體監(jiān)控裝置。這種氣體監(jiān)控裝置(1)的特征在于,具有導(dǎo)入含有測定對象物質(zhì)的試樣氣體的試樣導(dǎo)入部(3)、測定包含在試樣氣體中且與測定對象物質(zhì)共存的規(guī)定共存物質(zhì)的濃度的共存物質(zhì)濃度測定單元(4)、使所述試樣氣體電離的電離部、分析從所述電離部生成的離子的質(zhì)量的質(zhì)量分析儀、解析由質(zhì)量分析儀檢測出的信號并計算出測定對象物質(zhì)的濃度的數(shù)據(jù)處理部(7)、顯示由數(shù)據(jù)處理部(7)解析的解析結(jié)果的顯示部(8);并且,數(shù)據(jù)處理部(7)具有對應(yīng)于規(guī)定共存物質(zhì)的濃度而修正測定對象物質(zhì)的濃度的修正單元。