一種可變電容測量裝置能夠包括在多個不同實施例中描述的任何一個或多個功能部件,以實現(xiàn)一種可靠的、小巧的裝置。電容器電極、吸氣外殼、夾緊連接器可以沿一共同軸排列,以減小寬度尺寸而不大幅度增加長度。通過選擇那些熱膨脹系數(shù)相互接近的材料,可以減小溫度引起的擾動變化。玻璃-陶瓷材料可用作絕緣體并化學(xué)連接到金屬表面以提供真空密封,從而消除對于一個單獨的電極組件內(nèi)的玻璃密封或槽的需要。此外,單塊電極組件可以代替單個電極組件(用于電穿通)和電極。實施例還包括用于使用和形成該裝置的過程。