本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中在制備非制冷紅外探測(cè)器中的熱敏薄膜的過(guò)程中，PECVD方法的工藝窗口狹窄、形成熱敏薄膜的過(guò)程中易導(dǎo)致工藝波動(dòng)的缺陷，提供了一種非晶硅熱敏薄膜的制備方法以及非制冷非晶硅微測(cè)輻射熱計(jì)的制備方法，能夠提供寬的工藝窗口并克服熱敏薄膜制備過(guò)程中的工藝波動(dòng)。一種非晶硅熱敏薄膜的制備方法，該方法包括：將晶圓放入等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積反應(yīng)腔中，對(duì)所述晶圓進(jìn)行本征非晶硅薄膜淀積；對(duì)淀積后的本征非晶硅薄膜進(jìn)行注入摻雜。