本發(fā)明的名稱是制造用于熱輔助磁記錄光輸送的干涉測量錐形波導(dǎo)管的方法。以高臨界尺寸均勻性和小線邊緣粗糙度制造用于熱輔助磁記錄(HAMR)頭的干涉測量錐形波導(dǎo)管(I-TWG)的方法，其中該方法包括形成I-TWG薄膜堆棧，其中在I-TWG芯層上的兩個硬掩模層被夾在兩個包層之間，使用深紫外光刻在I-TWG薄膜堆棧上限定光敏抗蝕劑圖案，使用反應(yīng)離子蝕刻(RIE)轉(zhuǎn)移所述圖案至第一硬掩模層，使用RIE在第二硬掩模層上形成臨時的I-TWG圖案，使用RIE轉(zhuǎn)移臨時的圖案至I-TWG芯，再填充包層和使用化學(xué)機(jī)械平面化(CMP)進(jìn)行平面化。