本發(fā)明涉及一種原位非接觸探測(cè)金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)石墨溫度分布的方法。該方法是利用數(shù)碼相機(jī)對(duì)石墨進(jìn)行拍攝,并根據(jù)需要在相機(jī)鏡頭前加濾光鏡,然后利用電腦讀取所拍攝的圖像中的數(shù)據(jù)文件,根據(jù)文件所記錄的構(gòu)成每個(gè)象素點(diǎn)的三基色(紅、綠、藍(lán))分量值的大小來(lái)確定石墨的溫度分布特性。該方法不僅成本低、溫度分辨率和空間分辨率很高,而且多點(diǎn)同時(shí)測(cè)量,測(cè)量速度快,可以進(jìn)行數(shù)字處理、記錄和保存。