本實用新型提出了一種金屬連線短路測試結構，包括塊形金屬連線、條形金屬連線和形成于兩者之間的介質層，并且一部分區(qū)域條形金屬連線的下方有塊形金屬連線，另一部分區(qū)域的條形金屬連線的下方全部為介質層，條形金屬連線分為保持隔離的兩部分；從而模擬實際生產中化學機械研磨由金屬連線密度不同造成的凹陷，凹陷造成的上方條形金屬連線短路的現(xiàn)象，然后通過測試條形金屬連線的電阻值，依照其電阻值的大小來判斷條形金屬連線之間是否存在短路，進而判斷化學機械研磨造成的凹陷對金屬連線是否存在短路的影響。