本發(fā)明公開的硅材料機械強度的測量方法是以測量硅材料的位錯滑移長度來確定其機械強度的,依次包括如下步驟:首先將從硅材料上割取的試樣硅片進行拋光,除去表面損傷層;然后用硬度計壓頭在硅片表面制造壓痕,壓痕四周引入位錯;再在保護氣中對硅片進行熱處理,使位錯發(fā)生滑移;接著冷卻硅片,用化學(xué)腐蝕液腐蝕,顯示位錯的滑移;最后測量位錯滑移長度。應(yīng)用該方法簡便易行,便于從微觀角度確定雜質(zhì)對硅材料機械強度的影響。
聲明:
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