本發(fā)明涉及一種在化學(xué)機(jī)械拋光過程中使用在線傳感器測量拋光片的拋光設(shè)備和方法。由測量數(shù)據(jù)可識別出拋光片是否已經(jīng)磨損壞了或是否不均勻磨損,并更換拋光片。按照即時的測量數(shù)據(jù)而不是按照統(tǒng)計(jì)預(yù)期方法來安排檢修,可將檢修的停機(jī)時間降到最低,并避免使用已經(jīng)磨損壞了或是不均勻磨損的拋光片。新設(shè)計(jì)的拋光設(shè)備可延長拋光片使用壽命以及增加拋光效能。本發(fā)明的一個實(shí)施方案包括一個無觸點(diǎn)式傳感器,例如激光傳感器。