本發(fā)明公開了一種對(duì)大氣環(huán)境中的SF₆進(jìn)行靈敏、快速在線監(jiān)測(cè)的新方法及裝置。本方法利用負(fù)離子模式離子遷移譜，分別通過直接進(jìn)樣和摻雜水汽的方式檢測(cè)干燥環(huán)境和不同濕度環(huán)境中的SF₆。監(jiān)測(cè)裝置包括：漂氣、質(zhì)量流量計(jì)、空氣過濾器、摻雜劑瓶、摻雜劑、離子遷移譜系統(tǒng)、放大器、真空泵等。本發(fā)明通過負(fù)離子模式離子遷移譜吸氣采樣，設(shè)計(jì)摻雜劑裝置摻雜特定濃度的水汽的方式，引發(fā)化學(xué)反應(yīng)，在排除大氣環(huán)境中不同濕度對(duì)測(cè)量干擾的同時(shí)，通過監(jiān)測(cè)SF₆的分子離子峰和與水汽反應(yīng)后形成的新峰，提高離子遷移譜對(duì)SF₆測(cè)量的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。本發(fā)明檢測(cè)限可達(dá)0.1ppm。