本公開涉及一種變形測量方法及裝置，該方法包括：在待測試件的溫度保持不變的情況下，分別獲取待測試件表面的待測區(qū)域相對于標記物在第一時刻的第一高度場和第二時刻的第二高度場，根據第一高度場及第二高度場，分別獲得待測區(qū)域在第一時刻的第一圖像和第二時刻的第二圖像。并根據第一高度場、第二高度場、第一圖像和第二圖像確定力?化學耦合機理。本公開根據待測試件表面高度場特征進行分析，操作簡便易行。此外，本公開能夠獲取待測試件在高溫氧化過程中的實時數據，進而得到待測試件在不同區(qū)域的氧化膜生長厚度。有利于考察材料在不同應力狀態(tài)下的氧化動力學過程。能夠更客觀全面的揭示力?化學耦合機理。