一種兆聲清洗中晶圓轉(zhuǎn)速檢測裝置、清洗系統(tǒng)及其工作過程，所述檢測裝置與從動帶輪組件連接，包括內(nèi)置于晶圓轉(zhuǎn)子一端的鍵槽內(nèi)的第二磁芯、內(nèi)嵌于晶圓轉(zhuǎn)子帶輪套的第一磁芯、連接在從動帶輪端部的計數(shù)盤和設(shè)置在計數(shù)盤側(cè)邊的轉(zhuǎn)速傳感器。所述第二磁芯位于裝置的中心位置、第一磁芯位于第二磁芯的一側(cè)，且兩者呈異性放置。本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)中長期存在的問題，采用這種裝置，可快速、精確、有效地完成晶圓旋轉(zhuǎn)檢測，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，而且成本低，有利于提高工作效率和質(zhì)量，可廣泛應(yīng)用于晶圓的化學(xué)機械拋光（CMP）、減薄等領(lǐng)域。