本發(fā)明公開一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積設(shè)備的恒流配氣系統(tǒng)及控制方法,該配氣系統(tǒng)主要包括MO源模塊,載氣加載管路,MO汽輸出管路,在載氣加載管路設(shè)有質(zhì)量流量計(jì)M1、真空閥A,在MO汽輸出管路裝有壓力控制器、真空閥B,兩管路經(jīng)各自的真空閥與MO源模塊連接,在載氣加載管路和MO汽輸出管路之間連接裝有真空閥C的載氣短路管路和裝有質(zhì)量流量計(jì)M2的載氣分流管路。通過切換真空閥A、B和C控制MO源切換;控制M1和M2的流量比來改變MO蒸汽量;并使配氣系統(tǒng)的氣流量始終保持恒定。由此保證了反應(yīng)室的溫度、壓力參數(shù)的穩(wěn)定。經(jīng)與現(xiàn)有技術(shù)制備的同類生成物進(jìn)行PL譜對(duì)比測(cè)試證明,本發(fā)明的生成物淀積質(zhì)量好,一致性好及具有MO資源充分利用不排污的優(yōu)點(diǎn)。